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    APK6100E半導（dǎo）體行業超高純(特種)氣體稀釋係統，是一款具有高精度高稀釋（shì）比的升級產品，可配製五種標氣的混合氣(可定製),稀釋比可（kě）達到1:10000，二級稀釋，高精度，帶有加濕功能，可用（yòng）於傳感器生產商（shāng），半導體生產商的（de）產（chǎn）品測試及科研院所的科學研究。可根據用戶要（yào）求定製。

    特點：

    苯係（xì）物BTEX，PAMS，硫化物（wù），TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他（tā）;

    帶（dài）有加濕功能，可（kě）控製（zhì）稀釋後氣體濕度

    高精（jīng）度質量流量計（MFC），配製氣體（tǐ）濃度精準

    可選（xuǎn）配液體標樣稀釋模塊

    功能：
    1、單一/混（hún）合氣體配製
    通過質量流量控製器（MFC）順序連接兩種或多種標準氣體，如順序稀（xī）釋或產生混合氣體。可（kě）以單獨稀釋多種（zhǒng）標準氣（qì）體，也可以通過同時稀釋多種的標準（zhǔn）氣體（tǐ）來產生混合氣（qì）體。
    2、蘇瑪罐罐衝
    該係統配（pèi）備了壓力傳感器，以精確的（de）壓力將稀釋氣體引入罐中。
    3、控製溫度和濕度
    自動調節溫度和濕度，在各種條件下（xià）連續（xù）產生氣（qì）體（tǐ）。
    4、液體標樣氣化稀釋
    可選（xuǎn）配液體標樣（yàng）稀釋模塊
    5、顆粒物發生裝（zhuāng）置
    可選配顆粒物發生裝置，模擬各種工況
    以上功能均可（kě）根（gēn）據客戶實（shí）際需求組合定製（zhì）。

    應用：

    傳感器生產商

    半導體生產商

    科研院所

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■可配（pèi）置液體或氣體（tǐ）樣品；

■可實現標樣加（jiā）濕功能（néng）；

■兩級高精（jīng）度MFC控製；

■稀釋比高；

■全自動運行，直接讀取（qǔ）濃度，ppm，ppb或ppt；

■可針對不同用（yòng）戶的稀釋要求定製產品。